二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9206635 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一款設計用於先進半導體加工的高性能反應性離子蝕刻器（RIE）。該反應堆專為表面加工應用中的超高均勻性而設計，提供均勻精確的深度控制。AKT Endura 5500包括一個用於儲存和管理多種氣體的氣櫃、一個用於快速基板裝載的載荷鎖定室、發生蝕刻的反應室，最後是排氣歧管，該歧管在氣體釋放之前降低了室內的壓力。AMAT ENDURA 5500利用雙頻、高頻電源產生精確的等離子體進行蝕刻。它還具有先進的等離子體源，其設計目的是產生更均勻的蝕刻輪廓和更少的顆粒汙染。高度穩定的等離子體源允許對現代設備世代的摻雜濃度水平進行精確控制。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500允許用戶選擇多個蝕刻配方，以適應不同的設備堆疊架構。通過組合多個食譜，用戶能夠遵守廣泛的歌劇過程。ENDURA 5500的設計考慮了安全性、可靠性和生產率。綜合監控系統快速檢測異常過程條件，自動停止反應堆運行。為確保操作安全可靠，Endura利用先進的排氣技術控制腔室壓力。這種壓力控制對於在蝕刻高長寬比器件時提供精確的蝕刻深度控制非常重要。再者，APPLIED MATERIALS ENDURA 5500採用多級渦輪分子泵系統，維持室內低基壓。這確保了低顆粒背景，同時利用了廣泛的蝕刻氣體混合物。等離子體產生的亞微米塵埃顆粒也在內部收集，以盡量減少長期汙染的風險。最後,Endura 5500配備了專用的配方編輯器軟件,使用戶能夠輕松創建和保存自己的配方。這允許用戶快速建立處理流程,並根據其特定要求進行調整。總之，AKT ENDURA 5500是一種先進、自動化、反應性的離子蝕刻器，專為先進的半導體加工而設計。其先進的等離子體源在表面處理應用中提供超高均勻性，而其多級渦輪泵則保證了盡可能低的粒子背景。最後，借助專用配方編輯器軟件，用戶可以輕松創建和保存自己的配方。