二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC-7700 #293666918 待售

ID: 293666918
晶圓大小: 6"
EPI Reactor, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC-7700是為先進半導體器件制造而設計的工業反應堆設備。這種用途廣泛、可靠的系統能夠進行濕和幹蝕刻過程,以及物理和化學氣相沈積過程。它還能夠為各種不同的應用和基材容納多種晶圓尺寸。AMAT AMC-7700由耐火不銹鋼制成,采用真空密封門保持室內最佳狀態。該單元包含兩個獨立的熱源外殼,最多三個閥門,可用於裝載和卸載基板。它還有一個屏蔽裝置,以確保最大程度的安全,以及一個可以集成到主機系統的控制機器。在微波合成能力方面,APPLIED MATERIALS AMC 7700裝備了高功率、2GHz的EPR/EDR、多束鐵磁隧道式諧振器,已被證明是高效的,能夠為化學和物理過程產生精確和可重復的反應條件。它還能夠抵抗電和熱疲勞,同時允許可重復的低壓原位過程。可以實施各種附件,以確保每個應用程序的最佳性能。該工具具有與所有現有AMAT工具和附件兼容的明顯優勢,例如光刻燈、熱處理基板、水冷資產和空氣冷卻模型。最後,全可編程AMC-7700控制器單元標配多種工具,如多晶圓對準/傳感、反饋控制、多等離子體監測、電弧檢測、局部等離子體氣體控制等。此外,該控制器還具有數據分析和歸檔套件、大量有用程序庫、實時顯示和幫助菜單以及熱圖像分析功能。最後,AMAT AMC 7700對於那些正在尋找一種可靠、先進的半導體器件制造解決方案的人來說是一個絕佳的選擇。它具有強大的綜合功能、強大的結構和精密的控制器單元,是實現設備應用程序數字化並充分利用流程的一種可靠方法。
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