二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC-7700 #293666919 待售

ID: 293666919
晶圓大小: 6"
EPI Reactor, 6" Moore uniformity kit.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC-7700反應器是一種模塊化、計算機化的等離子體蝕刻設備,用於各種晶圓蝕刻過程。它是一種經濟實惠、可靠和高效的制造電子元件的方法,需要精確移除物料層才能達到所需的設計要求。反應堆能夠加工玻璃、金屬、陶瓷、塑料等材料。AMAT AMC-7700配備了三相電源、多塊控制板、工業級射頻元件以及強大的壓力和溫度控制系統。這種組分組合允許精確控制等離子體參數和循環條件,以提高工藝可靠性和產量。該單元設計用於批量和單片加工。機器的原位監控工具(ISM)由一對鎖載、可裝載的氣室組成,其中可以控制腔室壓力、溫度和射頻頻率。ISM允許對腔室參數進行實時調整,以確保最佳蝕刻結果。這也減少了為每個進程設置和刀具資產所需的時間。ISM還用於檢測樣本區域的狀態和組成,幫助進行故障排除和維護。APPLIED MATERIALS AMC 7700還提供了許多其他支持組件,如特征驅動蝕刻速率控制、多掃描模式、多配置、高度可配置的原位監控模型以及循環快速脈沖模式。此功能陣列允許在蝕刻過程中具有靈活性,並有助於減少過程時間。此外,該反應堆與許多現有和更新的機器人處理系統兼容,以進一步提高蝕刻工藝的效率和質量。總之,APPLIED MATERIALS AMC-7700是一種可靠、經濟高效的精密蝕刻設備。它的一系列功能和組件,如現場監控系統、多種掃描模式和功能驅動的蝕刻速率控制,為蝕刻過程提供了極大的靈活性。對於任何半導體制造設施來說,這種堅固的裝置都是一種寶貴的資產.
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