二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #9293631 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX反應堆是晶圓制造行業領先的工藝工具,可實現高功率水平的工作溫度。它是大型燃燒室系統應用中性能最高的瓦特反應堆。該反應器結合了AMAT專有的增強退火技術和原子層沈積技術，以支持先進的低k和多孔低k材料具有最高均勻性和沈積速率的多步工藝流。AMAT AMC 7800 RPX反應堆是一種多用途、經濟高效的工具，易於操作和維護。它提供高吞吐量水平,最高工藝速度為每小時80個晶圓,專為預處理、低溫退火、清潔、薄膜生長和蝕刻工藝而設計。其載荷端口能夠處理直徑最大為12英寸（300毫米）的晶圓和厚度最大為4mm的晶圓。預混合功能可在最佳條件下實現各種工藝步驟的卓越可重復性。其環境可持續性特征由應用材料增強源凈化（ESP）提供動力,它減少了顆粒汙染,並在更具生態友好性的工具的早期過程中排出氣體。它還通過使用虛擬維護程序維護長期的可靠性和穩定性,幫助降低擁有成本。集成的主動汙染控制系統可實時監測室內清潔度，並實現氮化物自動清洗。APPLICED MATERIALS AMC 7800 RPX配備了智能傳感技術和先進的計量功能,可提供完整的高分辨率診斷產品組合,用於實時過程分析和提高吞吐量。閉環溫度控制優化了熱環境，確保了精細材料的精確、可重復的熱處理。AMC 7800 RPX反應堆是預算緊張、占地面積有限的中小型半導體制造商的理想選擇。其卓越的可重復性和性能,加上高吞吐量、行業領先的工藝統一性和低擁有成本,使其成為生產用途的絕佳選擇。