二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7810 #102168 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7810是一種工業反應堆，用於氧化、剝離、蝕刻等過程。這種特定的模型非常適合使用永久性和或揮發性光致抗蝕劑。AMAT AMC 7810的密室制造體積為0.3m3，溫度可高達400 °C。該腔室使用由不銹鋼、KF元件、電氣連接和6英寸CF法蘭構成的腔室密封設備密封。可使用機械或電氣溶液穩定受控壓力。反應堆包括用於維持和控制氣流和真空的一系列組件。氣流由氣源系統管理，真空由擴散泵控制器管理。反應堆通常通過計算機自動化過程控制（CAPC）單元進行控制，該單元可以連接到PC Programmable邏輯控制器站。本機設計用於監視、檢測和恢復腔室操作參數，如溫度、壓力、流量等。APPLICED MATERIALS AMC 7810還帶有多項安全功能，如安全過壓工具、排氣閥、真空互鎖、壓力指示器等。該反應器的設計目的是為去除光致抗蝕劑的蝕刻過程提供精確和精確的控制。它為低體積和中等體積、工藝線蝕刻和晶圓清洗提供了優化的解決方案。它也可用於廣泛的工藝化學，為不同的蝕刻工藝提供靈活性。總體而言，AMC 7810是一種工業級的蝕刻和氣體流動反應堆，能夠達到高溫，可以很容易地集成到一條工藝線上。它為蝕刻工藝提供了精確的控制，使用了各種各樣的工藝化學方法，減少了循環時間，提高了工藝效率。