二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9390647 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811
ID: 9390647
Epitaxial reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811是專為半導體工業而開發的高性能、通用等離子反應器。它能夠執行各種過程,包括蝕刻、沈積和清潔。7811的設計目的是以最短的安裝時間和成本提供精確的結果。該反應堆提供了一個適用於先進開發實驗室和生產環境的連續晶圓處理的統一機器平臺。它被設計成既健壯又靈活,可以為各種任務配置。反應堆具有4.6米^3的活性室體積,使其能夠單批處理許多晶片或基板。還利用雙頻射頻電極設計,實現了優化蝕刻效果,減少了等離子體中心漂移。這造成等離子體在整個腔室中的均勻分布。7811還融合了具有超低流量切換技術和快速調諧功能的先進氣體輸送系統。這樣可以在氣體和設置之間進行即時切換,並具有更大的處理靈活性。反應堆還配備了先進的自校準系統,能夠精確的過程控制和可重復性。此外,這種等離子體反應堆提供了優越的維護能力。它有一個最終用戶可訪問的主燃氣箱和一個快速變化的高流量氣體歧管。它還利用空氣中斷系統對設備進行安全高效的服務。AMAT AMC 7811等離子體反應器是一種強健、功能強大的機器,適用於復雜的研發過程和生產應用。它旨在確保在一系列設置中獲得最高質量的結果,即使需求不斷變化。
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