二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #9390648 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，用於薄膜沈積應用。該設備是在集成工藝開發和工藝控制系統的基礎上，設計用於塗覆具有介電和非介電材料薄膜的基板。AMAT AMC 7821改進了對傳統熱沈積技術的處理控制，增加了工藝範圍。該系統由一個靜電卡盤、兩個射頻源、一個集成渦輪泵和一個整體真空法蘭封裝組成。靜電卡盤用於將加工過的樣品保持在適當的位置，並允許精確控制待加工的面積和基板的形狀。這兩個射頻源用於產生和控制沈積過程的能量，允許根據工藝要求定制條件。集成渦輪泵用於在薄膜沈積過程中實現低壓環境，並允許更快的泵降循環。FM-7821還配備了完整的用戶定義自動化包，包括各種溫度和控制設置。這允許精確、可重復的處理條件，並將沈積過程中出現錯誤的風險降至最低。用戶定義的自動化包還包括對過程氣體的控制，如氣體混合、流速和腔內氣體的分壓。反應室采用鋁塗層和不銹鋼結構，采用優化的鐘形罐設計，減少沈積過程中發生閃爍或電弧的機會。這種設計的精確度可以加快工藝周期，提高工藝的均勻性和穩定性，從而產生更高質量的薄膜。應用材料AMC 7821是為提高成本效益和環境安全而設計的.它最大限度地減少了該過程所需的材料和氣體，從而降低了成本，提高了安全性。該裝置還提供一系列安全傳感器，用於監測空氣中的微粒和與等離子體處理有關的其他潛在風險。綜上所述，AMC 7821是一種多功能的PECVD反應器，為各種應用提供高效可靠的薄膜沈積，具有極好的精度和可重復性。該機器利用先進的用戶定義自動化軟件包提供精確的過程控制,並通過最大限度地減少所需的過程材料量來提供低成本和環境安全。是高精度薄膜沈積的理想工具。