二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9024606 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100是生產高品質集成電路的先進等離子反應器設備。該系統使用氣體、氧氣、氫氣和氮氣的組合，用熱產生的等離子體將物質沈積在基質上。AMAT AMS 2100的腔室包含用於制造高能等離子體的高功率射頻發生器，以及在加工過程中用於固定基板的機械晶片卡盤。該機組還有一個輔助電源，用於在加工過程中控制基片的溫度。機器設計具有獨特的蝕刻和沈積能力組合,使設備能夠以盡可能最低的成本和最高的產量成型。APPLICED MATERIALS AMS 2100的等離子體工藝在最窄的線寬、高密度介電層和較低的表面粗糙度下提供了極好的階梯覆蓋。其低溫退火特性保證了材料的最高質量附著力和優越的器件性能。該工具還具有較高的沈積速率，具有優異的介電均勻性和更好的底部覆蓋率。該工藝可用於銅、鎢和鋁金屬化以及介電、絕緣和聚合物膜的沈積。AMS 2100具有一系列控制功能,可提供高精度的過程控制,包括溫度、壓力和流量控制。該資產具有廣泛的流程配方功能,具有用戶定義的參數,可針對特定應用程序進行優化。靈活的控制功能允許實時調整參數以獲得最佳結果,而高級功能則允許自動優化沈積環境。AMAT/APPLICED MATERIALS AMS 2100的可重置室簡化了基板交換，最大限度地降低了汙染風險。該模型還采用了無需手套箱即可快速裝卸樣品，最大限度地降低了顆粒汙染和環境汙染的風險。工藝監視器設計用於監控生產過程中的腔室壓力、溫度和氣流,以確保工藝的完整性和質量。總而言之，AMAT AMS 2100是一種先進、用途廣泛的反應堆設備，可用於生產多種集成電路產品。它提供了出色的工藝控制、自動化的優化功能和簡化的基板交換。其優越的階躍覆蓋率和高的沈積率能力使設備能夠快速而高產率地形成。