二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9068943 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100反應堆設備設計用於半導體制造過程，為金屬、介電和III-V半導體材料提供先進的沈積能力。它由三個主要組成部分組成：加工室、氣體輸送系統和控制器。工藝室：工藝室的設計目的是為制造半導體基材和晶片創造必要的壓力、溫度和氣體條件。它采用了一種新穎的無隔片設計，不需要蓋子，並允許將加工氣體直接輸送到腔室的中心。該室的設計也具有靈活性，以適應廣泛的工藝要求，包括與多源技術（CVD、PECVD、PVD等）的單元集成。該室采用創新的不銹鋼和特氟龍結構，為基板提供了高效的熱傳遞和熱管理。氣體輸送機：GDS控制工藝氣體的流動，並配備先進的控制功能。這包括對氣流、總流量水平和壓力的獨立控制。GDS還被設計為與其他來源相結合，並與各種工藝工具相兼容。控制器：控制器旨在提供整個AMAT AMS 2100工具的統一視圖。它配備了高級圖形用戶界面（GUI）功能,可輕松設置和控制資產。用戶可以從控制器的控制面板快速訪問所有參數和診斷信息。該軟件還允許從計算機或平板電腦進行遠程訪問和數據管理。總體而言，APPLICED MATERIALS AMS 2100反應堆旨在滿足大型半導體制造過程中最高水平的性能和可靠性。它采用獨特和集成的模型設計方法，能夠對過程氣體進行更好的控制和有效的熱管理。控制器提供直觀的用戶界面,便於設置和控制。這使得AMS 2100反應堆成為任何半導體制造設施的絕佳選擇。