二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9269434 待售

AMAT/APPLIED MATerials AMS 2100是一種廣泛使用的化學氣相沈積（CVD）反應器，適用於各種薄膜材料的沈積。它在廣泛的增長條件下提供高性能、經濟高效的沈積。反應堆的最高溫度為2000 °C，令人敬畏的功率水平高達5000 W，並且可以處理高達2200平方英寸的基板。它具有集成的安全功能,可以手動或編程操作。AMAT AMS 2100設計為在大面積基板的整個表面提供均勻沈積。它具有一個多區域供暖平臺,根據配置,可變區域從4到10不等,可容納直徑12英寸或2200平方英寸的基板。它帶有一個用於快速基板處理的垂直敏感器升降機，可以供應氮氣、氙氣、矽烷、氨和其他工藝氣體，用於不同的沈積應用。反應堆采用雙泵高級渦輪分子真空設備，使用擴散泵時最大底壓3x10-7 Torr，提供出色的工藝控制和均勻性。它具有分區抽水幾何形狀和獨特的氣流路徑設計，以盡量減少氣相停留時間和節約氣體使用。反應堆還配有先進的溫度控制器和專用的溫度、壓力、熱應力和氣體超壓安全系統。APPLICED MATERIALS AMS 2100還設計用於更安全的操作和維護。它帶有集成的安全系統和編程的安全協議,以確保安全運行。反應堆的控制面板可用於手動操作，包括設置生長參數、監控過程條件和關閉系統。它還有一個程序操作的過程控制單元，允許連續和無人值守的增長。還有多種其他特性和選擇，都是為了使AMS 2100 CVD反應堆成為一種用途廣泛、可靠的薄膜沈積機器，具有各種應用的優越性能。