二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ASP Chamber for P5000 #293642390 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ASP Chamber是一種最先進的反應堆，用於納米級的材料加工。該反應堆結合了兩種主要技術：基於等離子體的蝕刻和先進基板加工。基於等離子體的蝕刻用於清潔、表面處理和納米尺度的蝕刻材料。蝕刻的等離子體源是由一個專有的雙頻磁控管源提供的，它能夠在廣泛的材料上以高選擇性和各向異性進行蝕刻。這種蝕刻還進一步增強了感應耦合等離子體源、遠程HF發生器和高密度源。此外，該蝕刻能力還得到了原位基板加熱選項的補充，該選項可提供快速、均勻的溫度控制，從而實現均勻的蝕刻速率和出色的控制。AMAT ASP室的第二個組成部分是先進基材加工（ASP）技術。這項技術提供了一套獨特的能力，包括化學沈積和原子層沈積（ALD）。ASP為化學沈積提供了一套先進的工藝氣體、一個專有的朗繆爾-布洛傑特平臺和集成質譜。這種工藝氣體可以精確控制納米級的薄膜厚度和均勻度。APPLICED MATERIALS ASP Chamber的ALD功能由Massively Parallel ALD Source （MPALS）啟用。該源提供了高精度沈積的能力，具有良好的能量和通量控制，可在大基板上均勻沈積。此外,集成的溫度循環坡道進一步實現了ALD工藝,可提供精確的成分控制、出色的熱隔離和均勻的膜密度。總之，ASP腔室作為一種強大的制造、加工和沈積工具，以滿足最先進的納米級應用的要求。該反應器提供對蝕刻參數的精確控制，以及化學和原子層沈積，以滿足獨特的納米級加工要求。
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