二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Axiom Chamber for Centura #293665730 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura公理室，通稱公理室，是一種最先進的半導體加工反應堆。這個先進的系統是專門為生產各種苛刻的半導體器件而設計的。它具有高精度加工和創新的集成設計,非常適合高質量晶圓生產。公理室采用先進的集成設計，使其成為同類中性能最高、最可靠的。腔室由主反應堆主體、腔蓋、頂板、底板、勵磁線圈、石英窗、屏蔽和正時機構組成。集成設計消除了傳統的閘閥，減少了工藝部件與腔壁之間的元件數量。這樣可以最大程度地減少需要對齊的點數,並提供更好的密封。公理室的核心是其強大的等離子體源，它利用揮發性前體的熱分解來產生和維持熱的、高反應性的氣態反應物室羽流。短路光學器件從羽流中過濾離子和中性粒子，並將它們引導到取樣窗口進行歸位和剖析。然後通過對電壓、溫度和壓力的實時控制來完成過程分析。除了強大的集成設計外,Axiom Chamber還提供多種功能,使其成為獨一無二的功能。其先進的集成技術減少了負載的氣動和電機，而其石英窗設計消除汙染。該室也是第一個具有溫控蓋和高純度、多步氣體噴射系統的生產室，以改進工藝控制。固有的過程重復性保證了高晶圓的均勻性和一致性。公理室的設計考慮到了安全性。屏蔽層提供了紫外線輻射的保護，水平腔室取向消除了底部汙染的風險。其低調的機身允許最低限度的曝光和改進的人體工程學。AMAT Axiom Chamber for Centura是一個先進的系統，為現代半導體器件的生產提供了強大可靠的解決方案。它的集成設計最大限度地減少了需要對準的點的數量,並提供了卓越的過程控制,而其先進的安全功能提供了額外的保護,使其免受紫外線輻射和汙染。公理室具有固有的工藝重復性、高晶圓均勻性和耐汙染性，是要求最高的晶圓生產的理想選擇。