二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AxZ Chambers for Endura CL #9313565 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS AxZ Endura CL室是一種反應室設備,非常適合各種沈積過程,包括薄膜沈積和蝕刻。該系統設計用於在半導體基板上生產用於半導體制造、MEMS/MOEMS、LED、OLED、太陽能電池制造等應用的薄膜。AxZ腔室單元由兩個組件組成：主體和Endura CL模塊。AxZ腔室主體由不銹鋼構成，旨在提供最大的結構完整性和可靠的操作。它具有創新的設計，使局部沈積非均勻性最小化，以便在晶圓的整個表面提供均勻的沈積。Endura CL模塊由E-Chamber、中央預熱單元和排氣煙囪組成。E-Chamber由有蓋腔室、工藝氣體入口和晶圓提升銷組成。預熱單元由石英管加熱器、紅外燈和熱電偶組成，均與E-Chamber熱隔離，以防止工藝汙染。排氣煙囪設計用於快速疏散蝕刻或沈積過程中產生的任何危險或有害物質。Endura CL的AxZ腔室是化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）、電化學沈積（ECD）和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）等廣泛沈積過程的理想選擇。這臺機器可以容納直徑達8英寸的晶片，並且可以加工基材，如矽膠、鈦和鋁。它還具有較高的安全殼（HCL）能力，以提高操作過程中的安全性。此外，AxZ Chamber for Endura CL可以在手動和自動模式下運行，使其成為生產線制造的理想選擇。綜上所述，AMAT AxZ Chambers for Endura CL是一種用途極為廣泛的反應室工具，設計用於可靠的性能和精確的晶圓處理。它具有堅固的不銹鋼主體和模塊化的Endura CL模塊,可增強功能,並可容納多種晶圓類型。此外，它與各種沈積工藝兼容，能夠在手動和自動模式下工作。Endura CL的AxZ腔室是半導體制造、MEMS/MOEMS和其他相關應用的理想選擇。