二手 AMAT / APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE #293631717 待售

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反應爐
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
BPSG Chamber for Producer SE
ID: 293631717
優質的: 2004
MKS Astron EX RPS CLS208 Watlow controller ALN Ceramic heater 1-1/8 C-Seal surface mount gas panel 0195-01042 AC Box 1080-00126 Heater lift driver 0190-13840 Pin lift driver Manometer: 20T / 1000T Pressure switch: 10 Torr MKS 683B-31931 Throttle valve NC 021010-1 ISO Valve Process kit: Top liner Middle liner Bottom liner Pumping ring Lift hoop Gas panel: Gas line / Gas / Size / MFC / Valve 1 / O3 / - / - / - 2 / O3 / - / - / Hamlet 3 / O2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 7 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 8 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 9 / HE / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 10 / N2-Purge / - / - / Hamlet 11 / N2-Purge / - / - / Hamlet 12 / NF3 / 5000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet 13 / HE / 5000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 14 / AR / 15000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet Liquid 1 / - / - / - / TEPO Liquid 2 / - / - / - / TEOS Liquid 3 / - / - / - / TEPO 2004 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE是一種高性能反應器系統，設計用於在半導體制造過程中沈積硼磷矽酸鹽玻璃（BPSG）薄膜。該腔室是AMAT Producer SE平臺的關鍵組成部分，該平臺是半導體工業中廣泛應用的一系列薄膜沈積應用系統。BPSG室利用化學前體和工藝參數的獨特組合，沈積具有優異均勻性、純度和薄膜質量的BPSG膜。BPSG薄膜通常用作半導體器件中的絕緣層，以提供器件不同層之間的電隔離，並將器件表面平面化，用於後續的處理步驟。腔室配備了先進的工藝控制能力，包括對氣體流速、溫度、壓力和等離子體參數的精確控制，以確保對沈積過程的嚴密控制，達到所需的薄膜性能。該室還具有高度的自動化和與Producer SE平臺的集成，允許無縫操作和高效的生產工作流程。APPLICED MATERIALS BPSG Chamber的一個關鍵優點是它能夠在復雜的器件結構上沈積具有高膜密度、低雜質水平和極好的步進覆蓋率的BPSG薄膜。這對於確保半導體器件在諸如集成電路、內存器件和傳感器等要求苛刻的應用中的可靠性和性能至關重要。該室采用模塊化架構設計，便於維護、維修和升級，以滿足不斷變化的流程要求。它配備了最先進的安全功能，包括氣體監測和聯鎖系統，以確保安全運行，並將潔凈室環境中發生事故的風險降至最低。AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber的設計也考慮到可持續性，包括節能組件、廢物最小化戰略和遵守環境法規。這與半導體行業減少其環境足跡和采用綠色制造做法的承諾相吻合。綜上所述，生產SE的AMAT BPSG室是一種在半導體制造中沈積BPSG薄膜的高度先進可靠的反應器系統。它的尖端技術、過程控制功能和自動化功能使其成為尋求為其設備實現高性能BPSG薄膜的半導體制造商的理想選擇。
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