二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Carina Mesa #9251127 待售
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ID: 9251127
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Etcher, 12"
EFEM
TM Module
Chamber B
Axiom chamber D
AC Rack
Accessories included
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Carina Mesa反應堆是一種全自動沈積設備，旨在使高質量的薄膜沈積到廣泛的表面。AMAT Carina Mesa是一種雙區、高效或HIEEP、反應堆，CVD工藝的混合型。該系統能夠在高達1000C的溫度下沈積各種材料，包括金屬、氧化物和氮化物。兩區設計有助於最大限度地提高效率，因為它允許在第一區引入新的反應物，而無需關閉裝置。應用材料Carina Mesa反應堆可以連續運行，這意味著反應物可以在機器運行時裝卸，從而提高吞吐量和過程穩定性。嘉玲梅薩反應堆裝有溫度監測、壓力監測、反應性氣流控制、自動配方控制等多種先進工藝控制。高級工藝診斷,如RIE/ICP蝕刻和原位板電阻測量,也可與此工具一起使用。這樣可以實現更大的流程優化和重現性。AMAT/APPLICED MATERIALS Carina Mesa反應堆還配備了多項安全功能，包括監測溫度、壓力、氣流等多種因素的能力。資產還有一個緊急關閉開關和隨附的警報，以便在發生任何危險情況時作出快速反應。總體而言，AMAT Carina Mesa是一個最先進的沈積反應堆，能夠在精確的溫度下沈積高質量的薄膜，具有極高的可重復性。它的兩區設計和自動化能力保證了高吞吐量和最佳的過程穩定性，而其先進的過程控制和安全特性進一步使該模型成為任何沈積任務的理想選擇。
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