二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Carina #9240272 待售

AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS Carina Reactor是一種設計用於半導體制造的先進沈積設備。該系統利用物理氣相沈積（PVD）和化學氣相沈積（CVD）技術以精確和精細的方式在基板上沈積薄膜。AMAT Carina反應堆在吞吐量、統一性和整體性能方面提供優勢，使其成為廣泛制造應用的理想選擇。該裝置采用高效、模塊化的兩部分沈積室，使聚氯乙烯和聚氯乙烯過程都能在單個沈積步驟中發生。底部被稱為沈積室，包含了源、基板和目標材料，而上部則由真空容器組成。沈積室設有三個源，包括一個離子淋浴室、一個濺射源和一個電子束源，可以由電源單獨驅動。該機還具有用於CVD加工的閉孔源配置和用於惰性氣體輸送的氣體歧管。沈積室安裝或安裝在一個隔振、風冷的升降機平臺上，可方便地快速裝卸基板。還配備了可調基板加熱器，為精準優質的效果提供了可調的溫度控制。應用材料卡裏納反應堆還配備了先進的真空工具，為沈積過程提供了精確穩定的環境。它設計用於維持低壓環境，並配有一系列壓力安全閥和傳感器，在過程中監測和調節腔室壓力以及基板溫度。資產還配有各種控制器和傳感器，便於在沈積過程中進行監測和實時控制。它還采用了高級診斷和反饋算法,有助於確保流程質量和一致性。總體而言，Carina是一種高精度沈積模型，在復雜的半導體制造過程中提供了極致的性能和吞吐量。它具有先進的特點，是半導體制造應用的理想選擇。