二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 DPN Gate Stack #293812988 待售

AMAT Centura 4.0 DPN Gate Stack是一種用於制造先進集成電路的化學氣相沈積（CVD）反應器。它是一種多室設備，允許沈積一系列材料，包括最先進的矽化物、電介質、金屬觸點和鈍化柵極氧化物。該系統配有堅固的氣體管理單元，能準確控制壓力和流量。反應堆還設有溫度控制裝置，可在所有室內進行精確的溫度控制。通過分布在整個機器中的高分辨率溫度傳感器進一步增強了溫度控制。Centura 4.0還配備了最先進的負載鎖，以確保工藝室的均勻性，並具有較低的基板電容，以提高可重復性和減少充電。在沈積過程中，一個腔室預裝有晶圓載體，然後下泵至指定壓力，一般低於50毫托。晶圓基板被轉載到負載鎖中，轉運室被關閉以創建一個孤立的環境。引入氣體，對所有流量進行準確的感測和監測。然後調節溫度和壓力以確保整個腔室的均勻性，並啟動過程化學反應。集成電路中使用的各種材料可以根據沈積參數沈積到晶片基板上。這包括：矽化物、電介質、金屬觸點和鈍化柵極氧化物，以及高k電介質。對這些材料進行同軸監測，以確保達到所需溫度，還可以監測某些工藝氣體的濃度，如矽烷，以確保適當的反應。該工藝完成後，晶片從轉運室釋放出來，裝入晶片運輸機，準備運輸或最終計量。Centura 4.0 DPN Gate Stack使工程師和科學家能夠快速有效地制造高級集成電路,從而提高產量並提高性能。