二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 Radiance #9072172 待售
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已售出
ID: 9072172
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Platform RTP system, 12"
Chambers: A, B, D:
Chamber type: Radiance RTP
Lamp HTR
N2; PRCS/BTM/MAGLEV: 50/50/100slm
O2; PRCS 50/10slm, He: 50slm
Modifications:
CH-A.B.D Oximeter additional, Oxygen concentration monitoring
CH-A.B.D OLT additional functions, Remodeling the lamp annealing specification
Missing parts:
Slit Assy(Ch-A), 0010-03057
Slit Assy(Ch-B), 0010-03057
VHP Robot(Buffer), 0242-30245
Lamp head cooling water IN side hose (Ch-D)
Wafer suppor cylinder buttons (Ch-A)
FI Robot(FI), 0190-10300
APC (Ch-A), 0500-01147
Bu robot driver (Buffer), 0190-08277
RTC CPU Board (Ch-A,B,D), 0190-28454
FI Robot (FI), 0190-10300
ipump (LLK), 0190-27340
Maglev Controller (Ch-D), 0190-24282
Currently in storage
2003 vintage.
AMAT Centura 4.0 Radiance Reactor是一種半導體處理設備,利用高通量能力提供最佳性能。它是一個四室CVD系統，能夠處理直徑達200毫米的基板。Centura 4.0 Radiance Reactor具有高度的穩定性、可靠性和可擴展性,旨在滿足半導體行業最苛刻的挑戰。Centura 4.0輻射反應堆的四個腔室針對各種應用進行了優化，包括擴散、蝕刻和化學氣相沈積。每個腔室能夠泵送大批量氣體，高達4.2 std L/min，以便在均勻流動和恒壓的情況下進行高效處理。它還具有一個先進的溫度控制單元，可以保持溫度低至150 °C或高達1000 °C，提供廣泛的工藝要求。此外，改進的氣體處理部件和遠程監測的使用為所有艙室提供了統一的過程控制。腔壁由石英制成，內表面用鎳處理，確保長期穩定，防止汙染。該機還配備了非接觸式驅動工具,無需更換零件,如刷子和軸承,從而進一步提高了資產可靠性。此外,由四個腔室和高效的過程氣體輸送模型組合而成的高吞吐量能力提供了最大的吞吐量性能,同時最大限度地降低了整個過程的成本。Centura 4.0 Radiance Reactor提供了多項安全功能,例如自動點火設備、機械室互鎖以增強安全性,以及設計良好的通風系統,能夠成功快速地排出大量廢氣。此外，該單元的設計符合行業安全標準，包括SEMI S94和NFPA以及ATEX要求。Centura 4.0 Radiance Reactor是廣泛的先進半導體應用的完美選擇。它結合了可靠的高吞吐量能力、可擴展性和出色的過程控制,使其成為這個快速發展的行業中制造商的理想選擇。
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