二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 #189613 待售

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ID: 189613
晶圓大小: 12"
Rev 4 HART mainframe only, 12" Amat centura rev 4 mainframe & gas box Previously fitted with with dual deep trench chambers Top source Chiller upgrade With 2 load locks 2 load ports MKS frca 26349 delta flow ratio controller Main frame only 12" mainframe controller configuration: A1- industry pack i/o A2- industry pack i/o A3- motion vacuum robot A4- dnet 2-ch. Scanner A5- dnet 2-ch. Scanner A6- dnet 2-ch. Scanner A7- serial A8- processor A9- (spare non-cpci slot) A10- cpci power B1- dnet i/o (dio. Combo) B2- (empty) B3- dnet i/o (dio. Combo) B4- motion signal conditioner with otf B5/B6- front end loadlocks B7/B8- interlocks B9- interlocks B10- interlocks (test connector empty) SMC ex180 sdn1 serial interface 2001 vintage.
AMAT Centura 4.0是為高級工藝開發和生產而開發的先進化學反應設備。它是一個群集工具平臺和一個完整的系統集成平臺,提供了一套強大的功能。該單元提供了高吞吐量的平臺和可擴展性,旨在快速定制以適應新的流程開發。平臺的核心是雙區室,它為基板和工藝能量的均勻平衡和優化聚焦提供了理想的環境。雙區腔內大氣的精確控制產生了優越的工藝均勻性和可重復性,是Centura 4.0獨有的。除了提供對工藝環境的卓越控制外,Centura 4.0還提供了一套廣泛的高級功能,包括多個可編程參數、多級泵送功能和自適應工藝控制(APC),所有這些都有助於實現機器的六西格瑪工藝優化功能。Centura 4.0還提供了一系列全面的濕法處理功能,並配備了自動化材料處理工具(AMHS),便於裝載和卸載基材和材料以進行處理。AMHS支持快速的樣品加載和卸載,以及降低與過程優化實驗相關的停機時間。Centura 4.0還提供了一個自適應過程控制(APC)模塊和一個專有的過程復制方案,以實現最大的過程利用率和優化。APC模塊分析過程結果,允許快速調整原位過程參數,以優化過程性能結果。過程復制模塊確保由模塊重新定位、環境條件的變化或新的加工化學的引入引起的所有過程都得到及時校正或最小化,以確保始終保持最佳的過程均勻性。Centura 4.0還提供高級可視反饋、實時跟蹤和管理資產,以確保準確、一致地遵循所有流程配方。所有這些功能的結合確保了Centura 4.0能夠提供卓越的工藝性能結果。總之,Centura 4.0是一種復雜的化學反應模型,它提供了高吞吐量平臺、可擴展性和快速過程調整功能。它提供了具有高精度過程控制、自適應過程控制、過程復制方案和視覺反饋的自動化物料處理設備。所有這些功能都集中在Centura 4.0中,為高級工藝開發和生產創建了強大而可靠的化學反應系統。
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