二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 #293820596 待售

ID: 293820596
Plasma system.
AMAT Centura 4.0反應堆是一種最先進的高通量沈積機,設計用於處理各種材料。該反應堆的設計目的是能夠快速、高效和經濟高效地制造復雜的設備,如半導體集成電路和光電元件。Centura 4.0配置了全自動過程控制設備,使操作員能夠連續監控晶圓處理並減少停機時間。使用腔室標記功能,可以通過以太網連接從筆記本電腦或遠程位置遠程調整設置。溫度控制器允許在200°C至400°C的範圍內進行溫度可調性調整,從而使沈積特性能夠根據每次單獨的處理運行所需的結果進行調整。基板冷卻也可用於降低基板表面溫度(Tm)。Centura 4.0反應堆的載荷鎖定系統在過程循環過程中自動疏散工藝室,並保持反應堆室內清潔環境,確保從晶圓到晶圓的薄膜沈積一致。還提供定制的氣箱配置,以方便氣流優化和均勻的氣體分布。此外,反應堆利用反射計和石英晶體監測等全套現場監測工具,使操作員能夠實時監測工藝條件。反應堆配備了聚合物生長沈積(PGD)特性,提供了生產過程中外延生長的前所未有的控制。特殊沈積源的作用與脈沖基底脈沖相結合,產生了其他處理方法無法達到的薄膜性能。Centura 4.0還提供了一個內置的粒子控制單元,可以在沈積時連續監視、檢測和消除粒子。這臺機器可以檢測和確保沈積過程的穩定性.總體而言,APPLIED MATERIALS Centura 4.0反應堆是一種下一代機器,旨在最大限度地降低生產成本並最大限度地提高生產能力。該機具有先進的工藝控制和全方位的沈積工藝能力,是高通量沈積和設備制造的理想工具。
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