二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH #9093316 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH
ID: 9093316
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
CVD System, 8" Process: PO Nit Dep 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH是為研發實驗室設計的高度先進的反應堆。這臺功能強大、用途廣泛的機器能夠進行各種工藝化學處理,設計用於研發應用,如半導體加工和納米技術制造。AMAT Centura 5200 DLH具有許多使其成為傑出反應堆的特點,例如其先進的垂直和水平反應室、用於快速氣體輸送的Multi-Flex氣體設備以及用於無憂遠程操作的可編程SafeDetect氣閘系統。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH可以配置不同級別的自動化,從而允許用戶根據自己的特定要求定制計算機。Centura 5200 DLH的一次反應室直徑為250mm,最高溫度為800 °C,最大壓力為70 bar。反應室包括多種氣體管線、樣品端口、壓力和溫度傳感器,以及各種定制配件,如反應采樣管線、數據采集系統、質量流控制器等。反應室還具有腐蝕性化學作用,並具有惰性凈化/排氣能力。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH也有一個八位樣品前者,它允許樣品在反應室中被分析之前被制備出來。樣品前者包括各種特殊設計的具有不同電熱特性的電鍍板,以確保在所需溫度下的最佳性能。AMAT Centura 5200 DLH還包括一個遠程監控單元,允許用戶從實驗室外部監控反應過程。測量反應堆位置由機器的DeltaVision工具處理,該工具提供機器確切位置的實時反饋。這樣可以精確控制整個過程。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH還有一臺先進的射頻發生器,提供幹凈有力的射頻。此功能可設置為單頻或雙頻操作,為用戶提供對反應參數的全面控制。最後,Centura 5200 DLH還配備了可選軟件包,允許用戶自動執行流程並跟蹤整個流程。此軟件包包括高度可定制的界面、強大的控制功能、詳細的分析和報告工具,可用於構建自動化操作序列。這使得AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH成為研發應用的理想反應堆。
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