二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH #9184768 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH是一種用於半導體制造的多室、雙車道、感應耦合等離子體（ICP）反應器。該設備以200-300 mm/分鐘的速度設計,具有優化的工作效率和高達2x75 mm的單個晶片吞吐量,可在各種工藝條件下提供強大的性能。系統設計采用兩室配置，兩室串聯設置。第一室除了等離子體室和等離子體源外，還容納電源和高壓電源。下室裝有化學機械拋光（CMP）表、端效應器和其他運動元件。中央計算機接口管理自動化和流程配方。該單元配備了基於直觀觸摸屏的用戶界面，便於精確配置和控制。該反應堆包括利用先進的ICP技術為高沈積速率和均勻性而建造的最先進的等離子體源。它可以配置用於液體和氣體輸送系統，在第一室設有專用氣體輸送機。該工藝室配有堅固的陶瓷芯和精確的介電窗。其設計能承受較大的工藝壓力，保持較高的選擇性。為了確保精確的控制和可重復性,該工具除了具有超高速和超高頻的頻率和直流偏置控制外,還具有高達2MHz 4MHz射頻磁化率。AMAT Centura 5200 DLH具有介電膜和硬膜,非常適合廣泛的應用。它還提供了背面處理的靈活性,允許通過處理實現通矽。該資產設計用於批量和單晶片工藝，並具有適當的晶片船旋轉和其他自動化操作。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH是一種高度通用的反應堆,可提供高通量和卓越的均勻性,滿足各種工藝條件。它具有多室設計、先進的ICP技術和直觀的用戶界面，非常適合精細集成電路的制造。