二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH #9200051 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH（深杠桿高縱橫比）反應堆是一種最先進的光刻工具，可以為各種市場生產下一代電路和元件。該工具用於半導體和電子工業的蝕刻、沈積和光掩模工藝。AMAT Centura 5200 DLH在一個最先進的反應堆中結合了深紫外線光刻、靜電和化學機械拋光（CMP）、沈積和高縱橫比蝕刻等多種先進技術。該工具專為70 nm的功能尺寸而設計,可產生功能盡可能最小的高級電路。它是一種靈活的生產工具,可快速適應掩碼更改,從而實現更快的周轉。DLH公司采用先進的成像技術,其功率級別高於其前代產品,從而能夠生產出卓越的精密產品。其獨特的深度杠桿蝕刻技術可確保最佳的蝕刻均勻性和臨界長寬比,即使在低操作壓力下也是如此。這樣可以生產具有高長寬比和非常嚴格公差的元件。利用自動最佳配方算法控制和監控蝕刻過程，優化蝕刻速率和選擇性。利用靜電和CMP技術提供更大的過程控制、均勻性和精度。APPLIED MATERIALS CENTURA 5200 DLH中使用的深紫外線（DUV）光刻技術提供了優於其前代產品的分辨率。它以極短的波長運作，以使生產出更錯綜復雜、更精確的聚合物結構。系統可以產生曝光時間低至2秒的高分辨率口罩。工具中使用的等離子體沈積法效率高，提供均勻的材料沈積。精密空氣軸承運動控制平臺和先進的對準技術使過程控制和位置精度更高。Centura 5200 DLH是高容量生產環境的理想選擇。其先進技術提供了更高的產量、更好的吞吐量和優越的產品質量。該工具還設計為能源之星認證組件的高能效。最終,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200 DLH是一種先進的光刻工具,可幫助生產精度、均勻性和吞吐量更高的精密產品。