二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS #9122814 待售

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ID: 9122814
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Poly silicon etch system, 8" (2) Chambers Position A: DPS Poly R1 Position B: DPS Poly R1 Position F: Orientor Narrow body load locks HP Robot Generator rack NBLL's System controller 1997 vintage.
AMAT(APPLIED MATERIALS)AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS是一種大型制造反應堆,設計用於制造和雕刻半導體器件如晶體管、芯片和其他電子元件。該反應器由石英室、氣體輸送設備和過程控制系統三部分組成。石英室是由石英制成的圓柱形室,一種天然存在的矽基材料。該腔室設計有一系列端口,用於在制造過程中容納晶圓和氣體。通過布置端口、氣體和晶圓,制造商可以在商會創造多種產品。為防止汙染,石英室進行真空密封和加熱,以減少不需要的顆粒的存在。氣體輸送單元是AMAT Centura 5200 DPS的第二個組件。這臺機器使制造商能夠通過輸送精確數量的氣體在室內產生不同的反應。氣體輸送工具利用一套由資產過程控制軟件監控的氣體流量控制器、閥門和管道。通過精確測量每種氣體中有多少被泵入反應堆,用戶可以改變發生的反應類型。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS的最終組件是過程控制模型。這控制整個制造過程從頭到尾。它控制氣流、腔室溫度、功率輸入和腔室壓力。它還監控電阻、擊穿電壓、移動性等重要參數。工藝控制設備還負責在達到預定限制時向制造商發出警報。Centura 5200 DPS反應堆是一種極為強大的制造工具,能夠操縱和雕刻各種半導體器件。利用其石英室、氣體輸送系統和過程控制單元的先進特點,反應堆能夠精確生產復雜的電子元件。
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