二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #79721 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ是為介電和其他先進材料的沈積而建造的PECVD（等離子增強化學氣相沈積）反應器。它具有一個大的可調工區動態優化，以最大程度的壓力平衡和均勻性。AMAT Centura 5200 DxZ具有高吞吐量、低散熱預算和堅固的設計,可在各種材料的沈積過程中提供最佳性能。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ采用三區通用工藝室設計。它寬敞的體積使得一次最多可以處理九個晶圓。設計由高性能排氣支撐，快速去除反應副產物以維持最佳工藝條件。Centura 5200 DxZ也有低溫晶圓加熱的選項，以獲得更大的均勻性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ能夠從多種來源沈積半導體材料。這包括氫化矽、矽烷、TEOS、氯矽烷等工藝組分。該反應堆還利用傳統的聚氯乙烯、超高純度和低熱預算技術來實現最大的工藝兼容性。此外，通過嚴格控制沈積功率，促進了光學厚膜的產生。AMAT Centura 5200 DxZ還具有高級診斷功能。它的探測器陣列和專用的TDM（推力沈積監測器）模塊可以對沈積的薄膜進行精確的實時監測。然後可以調整系統,以補償任何過程缺陷,確保最佳的一致性、一致性和質量。安全特性也沒有被忽視。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ采用多種保護機制來確保安全運行,包括封閉式腔室、安全面板和氣體排放系統。反應堆還有一個緊急關閉開關，以及一個自動端點檢測機制，旨在保護人員和設備免受危險反應副產物的侵害。綜上所述，來自AMAT的Centura 5200 DxZ是一個高性能、魯棒的PECVD反應堆。由於其可調的工藝區域，高吞吐量和低熱預算能力為各種晶圓處理應用提供了完整的控制。其先進的診斷和安全功能確保設備安全可靠地運行以提供最佳效果。