二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #9091401 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ是一種下一代等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，設計用於將先進的材料層沈積在用於集成電路（IC）制造的基板上。PECVD工藝是傳授厚度均勻且無缺陷的沈積膜的手段。AMAT Centura 5200 DxZ配備了多項功能,可增強性能並實現廣泛的流程功能。它有兩個腔室，每個腔室都有獨立的電源，最多可同時安裝兩個薄膜。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ還得益於徑向溫度剖面儀、可變RF偏差和具有多個真空級別的先進泵送系統。反應堆基於高通量、低成本的制造平臺，由AMAT專有的Simul-ProcessTM技術增強。該技術結合了實驗和數值優化技術，以確保高質量薄膜和最佳沈積速率。Centura 5200 DxZ在廣泛的過程中提供一致和可靠的結果,包括低和高k介電沈積、薄膜封裝、側壁剖面分析、源/排水工程以及淺層溝槽隔離。此外，其先進的腔室設計可防止金屬汙染沈積，並防止顆粒進入真空腔室，否則會對沈積的薄膜造成幹擾和缺陷。APPLIED MATERIALS還提供了一系列工藝選項,以及同時執行多個工藝的功能。這些功能使用戶能夠利用其增強的吞吐量並減少總處理時間。此外，該系統的設計能耗比其前代產品少，使其成為一個對環境負責的選擇，並且能效更高。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS提供了監測系統性能和優化流程的工具，從而延長了設備壽命並降低了擁有成本。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200 DxZ是一種先進、高效和經濟的PECVD反應堆,旨在滿足業界最嚴格的底物要求。它在一系列工藝選項中提供了卓越的性能、多功能性和生產率,確保了用於集成電路（IC）制造的先進薄膜的最佳沈積效果。