二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #9200050 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ
ID: 9200050
晶圓大小: 6"-8"
CVD System, 6"-8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ反應堆是微電子工業中使用的最先進的蝕刻沈積設備。AMAT Centura 5200 DxZ是一種自動化的平行板反應器,設計用於高級蝕刻和沈積應用。它提供了先進的過程控制和非常嚴格的過程參數控制。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ反應器有一個由不銹鋼製成的工藝室,可加熱至1100 °C。這樣既可以進行高溫處理,也可以進行低溫處理。該系統還具有高真空鎖,提高了工藝穩定性和可重復性。Centura 5200 DxZ反應堆能夠容納直徑達8英寸的晶片,並提供多種不同的處理技術,包括反應性濺射、退火、高溫蝕刻和原子層沈積(ALD)。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ反應堆比傳統的沈積和蝕刻系統有幾個優點。其集成的過程控制單元允許精確控制基板溫度和加工條件,以最小的偏差確保一致的結果。此外,反應堆為高通量應用提供了快速的循環時間。它還有一個遠程監控機器,允許實時監控和調整,允許工程師分析和調整他們的過程,而不必在現場。AMAT Centura 5200 DxZ反應堆經過設計,滿足了微電子行業日益增長的需求,是先進蝕刻沈積應用的絕佳選擇。它以最小的變化提供了可靠可靠的處理能力,使用戶能夠從其過程中獲得更好的產量和吞吐量。它的模塊化組件還允許升級和可擴展性,允許用戶在需求變化時輕松添加或升級組件。
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