二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #9255226 待售
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ID: 9255226
System
(2) Chambers, 8"
Platform type: Centura 5200-I, 8"
Loadlock: Narrow body
Robot: HP+
Position A: Chamber A DxZ PE-TEOS
Position B: Chamber B DxZ PE-TEOS
Position E: Multi slot cool down
Chamber clean: RF Clean
Gas panel: GPLIS
RF Generator: ADVANCED ENERGY RFG 2000-2V
Line frequency: 50/60 Hz.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ是一種高品質、高性能的反應堆,適用於化學工業的一系列應用。其獨特的設計和可調節的參數允許比其他類似系統更高的精度和控制。AMAT Centura 5200 DxZ有一個50厘米的加工室,允許廣泛的化學過程,包括蝕刻、沈積、循環和清潔。腔室用Nichrome密封密封,能夠在高達850°C的溫度下工作。腔室獨特的設計,融合了堅固的容器、旋轉的氣泡器和固定的凈化線,在反應過程中允許更高的精度和控制。該系統包括一個計算機控制的接口,用於監測和控制反應堆的壓力、溫度和反應物流動等參數。它還提供關於已完成反應的反饋,允許比其他類似系統更高的準確性和控制。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ采用不銹鋼車身和氦氣密封排氣系統,性能可靠,耐用。它還有一個高效的正壓閥,用於系統的安全運行,以及一個有用的固定凈化線,有助於減少啟動和完成反應所需的時間。該反應堆適用於多個行業,如自清潔、等離子體蝕刻(SiO2或氧化物去除)等工藝。其電腦控制的界面、可調的參數、耐用的構造使其成為許多化學應用的可靠、經濟實惠的選擇。
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