二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Epi #157515 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Epi反應堆設計為生產質量卓越、性能強勁的半導體器件。這種先進的反應堆是用於制造高性能半導體器件的最先進的工具。該反應堆采用先進的熱控制設備，溫度穩定度高達0.01°C，使半導體器件的制造具有統一的微積分特性。此外，反應堆還設有計算機控制的底物溫度控制系統，該系統允許精確的溫度控制，這對於最小化過程引起的應力和最小化缺陷至關重要。反應堆還提供了一個全自動、集成的設備制造過程，具有實時數據監測和實時現場分析。這使用戶能夠針對不同的材料和工藝條件輕松優化工藝參數。AMAT Centura 5200 Epi反應堆為用戶提供自動加熱、冷卻和大氣控制，以提高半導體基板的性能。該單元基於一個包含最多三個矽片的計算機控制反應室。這樣可以快速制造設備,最大限度地縮短加工時間,並提高基板的均勻性。反應堆還配備了層流氣體分布機，以最大限度地在整個容器上均勻分布氣體，能夠供應高達0.1或1.0毫巴的氙氮氣或​​的氙氫混合物。該工具可以精確控制晶圓腔，確保一致且可重復的鈍化和電路形成。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5200 Epi Reactor先進的晶圓溫度和大氣控制系統使用戶能夠根據其特定的設備制造需求精確調整工藝參數。該資產還具有濕式或幹式氮氣成分和各種預有線電氣端口，便於在設備制造過程中快速、方便地獲取測試參數。Centura 5200 Epi Reactor面向應用的設計確保了設備制造過程可以根據個別用戶需求進行個性化。該模型提供了一系列用戶友好的控制和監控功能,使用戶能夠優化其流程以獲得最大的產量和性能。此外，該工具的設計是為了保證可靠和可重復的生產成果，並且是市售的。