二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Epi #9395804 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Epi是一種經濟高效、高度可靠、可定制的半導體反應堆。利用其先進的工藝控制、加熱和冷卻系統以及精密的基板清洗，使半導體器件層的沈積、蝕刻和氧化成為可能。這種單晶片沈積/蝕刻系統廣泛用於HBT、RTD、MPW器件層增長等幾種復合半導體制造工藝中。這座Epi反應堆由一個標準負載單元組成，能夠支撐300毫米晶圓尺寸，並含有廣泛的材料，如鋁、矽和砷化銨。它還包括一個方便用戶的人機界面，便於操作和監測過程參數。此外,AMAT還提供延長保修期和服務期限的最大正常運行時間支持。其集成的等離子體源還可以實現更快的離子植入和蝕刻過程。Centura 5200系列以超高精度和均勻性而自豪,能夠處理200 mm晶圓大小。以其即插即用的生產配置和較高的沈積吞吐量，極具生產優質器件層厚度、均勻性和提高產量的能力。其較高的吞吐量也支持大批量生產。為確保質量控制,APPLIED MATERIALS Centura 5300還包括幾個現場傳感器,用於測量和監視溫度、壓力及其他地下條件。其創新的UltimaEpi設計以先進的基板控制機構進一步提高了質量，提高了熱均勻性。多個加熱區和冷卻區可選擇增加最多六個區的數目,這有助於在較長的處理時間內保持晶圓溫度一致。配備了全面的監控系統，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5300還提供了多個指標，以確保更好的流程可重復性。允許用戶編程自己的配方參數，它有助於獲得更高的產量和質量。這使客戶能夠自定義其生產,從而實現更大的靈活性和優化的結果。AMAT Centura 5200 Epi系統的使命是為業界領先的設備提供卓越的能力和運營效率。憑借卓越的可靠性和成本效益，它仍然是復合半導體生產應用中最受歡迎的平臺之一。