二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF #9146382 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF （High Terminary Furnace）是一種多用途的熱處理工具,適用於高達850°C的高頻應用,適用於廣泛的金屬化後退火、摻雜劑活化和多晶矽重結晶。5200 HTF在其設計中提供了許多功能,以促進一致的長期熱處理。其獨特的橢圓形設計包括水平和垂直溫度場分布，使溫度均勻性問題最小化。它采用雙源、雙頻感應加熱設計，在低、一致功率水平下提供高效。此外，它的高輸出、兩級水冷設備有效地維持了工藝溫度，並進行了設計，以盡量減少任何工藝產生的顆粒物汙染。一個全面的可編程邏輯控制器系統支持可靠的，可重復的過程控制。它配備了全套安全功能，包括過溫互鎖電路、水流監測和熱成像。此外,PLC單元還可以存儲大量的加工配方,使其能夠快速連續地執行多個過程。該機的潔凈室兼容設計具有密封的腔室，沒有凈化氣體的要求，和一個雙回收工具，無氟氯化碳制冷劑改進過濾器清潔。它還與AMAT Ultrapure™無汙染環境的清潔資產相結合。5200 HTF是研發以及高批量、工業規模生產高質量電子設備的理想熱處理工具。其先進的功能可實現卓越的溫度均勻性和控制性,實現可靠的可重復熱過程和卓越的產品質量。