二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+ #9169931 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是一種多室分子束外延（MBE）反應器，設計用於在各種基板上生長外延層，由AMAT制造。它在-220°C至700°C的溫度下運行，能夠生長矽和III-V材料的外延層。該設備是一種能夠同時處理多個晶片的MBE沈積速率高達6.8Å/s的設備。它具有先進的多晶體光抗蝕劑（MCP）薄膜，用於外延層的精確選擇面積增長（SAG）。AMAT Centura 5200 MxP+利用具有自動對焦單元的高功率視覺系統和晶圓線程機進行高效晶圓處理。該工具還可以與各種晶圓傳遞機制一起用於加載和卸載晶圓。此外，該資產還配備了高精度閉環運動控制系統和先進的互鎖模型，以確保晶圓的精確定位。它有一個強大的旋轉電動機，使晶片的精確旋轉和晶片在加載和卸載空間的精確定位。它還具有傳感器和光學反饋的綜合設備，用於精確的溫度和壓力控制。堅固的真空系統提供穩定一致的生長環境，能夠保持整個單元的清潔。APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+包括一臺先進的基於PC的互鎖跟蹤機，用於實時監控和詳細的過程優化。它還提供了易於使用的圖形用戶界面，便於操作和過程參數控制。反應室配有精密晶片加熱器，用於非常靈敏的溫度控制。它有多種不同來源的快門系統，能夠精確控制沈積材料的供應。Centura 5200 MxP+提供無與倫比的性能,非常適合通過選擇性區域外延實現的超晶格研究和3D集成電路等高級應用。它是一種可靠的工具，用於生產具有優異的層均勻性和光滑表面的高產外延層。它是一種用途廣泛的資產，可以很容易地進行定制，以滿足各種應用程序的要求。