二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+ #9351566 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是一種多室外延反應器,設計用於允許在200°C至420°C的溫度下在矽基板上生產級沈積薄膜和外延層。它采用了集成過程控制(IPC)技術,以便為客戶提供一致且可重復的結果。AMAT Centura 5200 MxP+配備了多項功能,使其成為生產級沈積工藝的優越選擇。APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是一種考慮到批量生產而設計的靈活、通用的外延反應器。它是一種高吞吐量設備,能夠處理各種基材尺寸、類型和厚度。該系統配備了先進的多室設計,為所有應用提供了卓越的工藝一致性。Centura 5200 MxP+為每個腔室構建了一個獨立的等離子體源。等離子體源為每個工藝室提供獨立的源功率,提高了沈積過程的穩定性和均勻性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+配備了多項功能,以確保一致且可重復的結果。該裝置采用均勻膜厚度控制技術,可精確控制沈積參數。UFTC提供整個腔室的厚度控制,確保基板上所有點的薄膜厚度均勻。該機還包括閉環過程控制工具、精密過濾系統和先進的實時過程監控。AMAT Centura 5200 MxP+能夠生產各種復雜的材料和組件。適用於半導體器件制造、MEM、微流體、計量等應用。資產支持一系列沈積過程,包括原子層沈積、化學氣相沈積、濺射和電鍍。最後,APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是為生產級沈積而設計的先進外延反應器。該模型具有集成過程控制(IPC)、精密過濾系統和均勻膜厚度控制(UFTC)等先進特性。Centura 5200 MxP+為客戶提供可靠和一致的結果,並且適用於各種應用程序。
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