二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #293659851 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，用於在半導體制造過程中在晶圓和其他基板上形成薄膜。AMAT Centura 5200 Super-E反應堆以高吞吐量、優越的均勻性、精準的控制和低的擁有成本為特點，成為尋求減少工藝時間和提高質量的制造商的熱門選擇。APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E的工作原理是首先使用遠程等離子體源生產帶電粒子的等離子體。該等離子體隨後被吸入反應堆的反應室中，與同時引入的化學前體相互作用。前體反應產生所需的薄膜，當等離子體通過腔室被抽取時慢慢沈積在基板上。Centura 5200 Super-E反應堆提供了比許多類似的PECVD系統更大的靈活性，允許用戶在幾種不同的等離子體來源和前體的不同化學成分之間進行選擇。這允許更廣泛的可加工材料，包括用於纖薄晶體管的多晶矽和用於絕緣和保護電路的各種介電膜。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E反應堆也因其方面或「平面」等離子體共振耦合技術而提供了改進的工藝均勻性。在這個系統中，等離子體使用均勻的射頻功率分布在晶圓或基板的整個表面維持在腔室內，導致過程中材料的沈積更加均勻。此外，AMAT Centura 5200 Super-E還設計用於提高吞吐量和工藝效率。它使用順序淋浴頭晶片，最多可容納25個單獨的項目，允許快速加載和卸載晶片。這樣可以加快整個過程,而不會影響沈積的質量。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E由於其高通量、卓越的均勻性、工藝效率和廣泛的可加工材料,是半導體制造的絕佳選擇。它還具有很高的可靠性和成本效益,使其成為預算緊張的理想選擇。