二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #9116891 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E是一種高性能、高純度、外延反應器，用於各種外延過程，如化學氣相沈積（CVD）和金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）。這座反應堆具有令人印象深刻的技術規格，能夠以高達65納米/分鐘的速度增長，提供了極致的成本效益。AMAT Centura 5200 Super-E外延反應堆的設計使其成為加工多種材料的可靠高效的工具，包括矽、​​和砷化的。它具有一次式磁化器升降機，允許最大產量和質量與最小的停機時間。磁化器升起，使反應器中的生長區更加均勻。應用材料Centura 5200 Super-E外延反應堆具有一組氫化物氣體噴射口，這些噴射口的定位使反應堆內的氣體輸送具有極好的均勻性。這確保了從LED和光子學到電力電子和無線通信等各種應用的任何基材的最高質量增長。Centura 5200 Super-E外延反應堆還設有定制的高溫立式石英噴射器，設計用於提高工藝速率和產品產量，提高安全性和可靠性。這種噴射器允許高溫氣體的精確輸送和控制，在氮化矽鈍化等應用中很常見。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E外延反應堆為了優異的生長敏感性，配備了激光基溫度感應設備。獨特的溫度感測系統有助於保持恒定的增長速度，導致過程結果一致，無論使用的基板或過程參數如何。外延反應器還有一個集成的超低振動單元，即使在強烈振動的情況下也能保證一致的增長性能。這臺機器減少了產生的熱量，從而提高了基材和晶圓的質量。AMAT Centura 5200 Super-E外延反應堆是外延生長等應用的通用可靠工具。反應堆令人印象深刻的特點使其非常適合各種應用，並且非常適合在實驗室和生產環境中使用。它的高吞吐量和低成本使其成為質量和效率至高無上的高級應用程序的絕佳選擇。