二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima #9355275 待售
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ID: 9355275
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
HDP CVD System, 8"
NBLL Loadlock
HP Buffer robot
Chambers type:
Chamber A: Ultima STD
Chamber B: Ultima TE
Chamber C: Ultima STD
Chamber E: MSC
Chamber F: Orient
Missing parts:
Remote AC Rack
RF Rack
Cable
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima Reactor是一種先進的晶體生長設備，為材料科學研究和工業應用的苛刻要求而設計。該系統保證了高端性能,外延生長過程的高產率,同時提供了溫度均勻性、卓越的循環可重復性和極低的氧氣水平。Centura由一對高性能擴散泵提供動力，由調節的氮氣供應供氣，能夠處理廣泛的前體材料。它由兩個獨立的程序分庭組成，由一個共同的移交分庭聯系起來。一個腔室專門用於生長，另一個腔室用於清潔、裝卸樣品。轉移室充當兩者之間的緩沖區，使得晶片在腔室之間安全、高效的氣密轉移。AMAT Centura 5200 Ultima的每個腔室都配備了自己的氣體和溫度控制單元。每個都有自己的溫度控制器，範圍從200C到1000C，以及一套獨立的16臺高精度質量流量控制器，用於精確的流量控制和獨立的氣流調節。通過使用精密控制器，可以在整個過程周期中調節流量；Centura能夠保持嚴密的溫度均勻性窗口。Centura的高端性能得益於其先進的設計。為了安全和可靠起見，反應堆配備了冗余的關機，如果發生意外事件，將暫停該過程。該工具以真空密封為主，降低了汙染風險。此外，資產具有自動設置功能，允許預先存儲流程協議；這對於自動化和節省勞動力非常有用。Centura的頂級性能和可靠性使其成為材料科學高級研究和工業應用的理想選擇。該模型的性能以最先進的設計和先進的工程技術為基礎,這使其成為要求苛刻的客戶的一個有吸引力的選擇。
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