二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ #9056053 待售
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已售出
ID: 9056053
晶圓大小: 6"
WCVD System, 6"
Soft version: B4.72
A: W-DEPO
B: X
C: W-DEPO
D: W-DEPO
E: COOLING
F: ORIENT
Buffer: X
Transfer: X
Wide or narrow: narrow
Tilt: not tilt
Robot: HP
Clamp: X
Pumps:
L/L iQDP80
L/L iQDP80
PC iQDP80 + (3) QMB250F
Generators:
A AX1000-3
C AX1000-2
D AX1000-2
Chiller: AMAT-0.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ反應堆是為半導體制造而設計和建造的通用先進系統。該工具可用於多種過程,包括化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)、外延和蝕刻。它提供了對工藝參數的精確控制,以確保設備制造的最高質量和可重復性。AMAT Centura 5200 WxZ反應堆采用模塊化設計,可為各種工藝定制靈活性和可擴展性。它具有直觀的觸摸屏人機界面(HMI),允許復雜的過程控制、監控和診斷。它的MFCs(質量流量控制器)確保氣體以最佳結果所需的精確流量輸送,同時可以準確監測和控制溫度和壓力,以改進工藝特性。對於需要精確控制其處理參數的用戶來說,這些功能是一個絕佳的選擇。APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ反應器還有一個真空室,使用不銹鋼螺旋插入襯裏和PTFE頂蓋,以確保卓越的導熱和穩定性。它的小容量處理室提供了更節能的設計,有助於減少加工時間和提高產量。這種可靠腔室的其他特點包括易於維修和更換部件,以及提高真空保持時間以提高工藝一致性。Centura 5200 WxZ反應堆配備了專門的QuartzView™操作軟件,可提供高級功能,如實時過程監控、集成配方開發和增強的數據分析。此軟件可與CAD/CAM系統結合使用,以進行全面的過程控制和優化。此外,它與AMAT Advanced Material Analysis Tool (MAT)兼容,使客戶能夠利用半導體行業中最新的技術。綜上所述,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200 WxZ反應堆是一種高性能系統,具有無與倫比的工藝靈活性和兼容性。其先進的HMI、MFC、溫度和壓力控制、小容量腔室設計以及專門的操作軟件為客戶提供了半導體工藝的完整解決方案。這套可靠高效的系統有望為各種應用程序提供最高質量的結果。
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