二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ #9280941 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ反應堆是一種高性能設備，旨在使工藝工程師在大批量的高級包裝操作中達到最佳制造效果。這座多站平臺功能廣泛，包括高速溫度控制、工藝氣體自動化、全閉環控制、快速腔室周轉等。該系統集成到針對各種應用的綜合工藝開發、生產和表征解決方案中，包括3 D NAND、納米線內存、MEMS、MEMS封裝和RF/milimeterwave產品。AMAT Centura 5200 WxZ反應堆具有完全可定制和可擴展的工作站設計,使工程師能夠根據不斷變化的客戶需求或不斷變化的技術需求,例行地擴展其操作。這種靈活性可產生多達五個晶圓大小,並促進過程步驟之間的快速傳輸。它還擁有世界上最小的溫度控制區，可實現最佳的溫度精度和對關鍵過程的嚴格溫度控制。APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ還具有一個新一代控制界面,該界面旨在通過在操作設備時提供操作員提示和直觀提示,最大限度地提高流程工程師的效率。其功能強大的高級控制器和直觀觸摸屏通過實時數據反饋提供完整的車輛、晶圓和工具級控制,從而能夠更快地響應不斷變化的生產場景和實施過程改進。反應堆還具有捕獲和存儲過程配方、測量過程坡道速率以及在數據檔案中跟蹤的能力。這臺機器還提供了一個用戶友好的氣體輸送模塊，使工藝工程師能夠定制和自動化其氣體流動，從而提高操作的重復性和準確性。該功能的自動壓力控制可保持穩定的氣流,從而實現快速的處理吞吐量和均勻性。最後，Centura 5200 WxZ反應堆提供了先進的工藝優化能力，允許工藝工程師訪問多個工藝優化曲線，以確保溫度精度和一致性。該工具還包括用於快速模模和子模加工的內置批量提升技術和用於現場表征的全自動計量站。