二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #148644 待售

ID: 148644
CVD system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種外延反應器,設計用於先進的半導體晶圓制造。它適用於制作世界上最小的晶體管,以及具有優越速度和性能的晶體管。AMAT Centura 5200是Dual Pocket Process Chamber,有一個較大的腔室,可提供較高的直通空間,另一個較小的腔室可提供更高的精度。其先進的自動裝載和裝載保留設備確保了在清潔環境中高效可靠的生產過程。反應堆裝有重離子源,能夠進行優越的離子註入和蝕刻過程。它還包含MAXC均勻性系統,這是一個由四個高級傳感器組成的集群,用於測量工藝劑量,以確保最高的基板均勻性。APPLIED MATERIALS Centura 5200的離子源和均勻性單元由MESA Advanced Plasma Source提供動力。這提供了優越的蝕刻速率,一致的功率和優越的工藝穩定性和均勻性在廣泛的速度和工藝配方。Centura 5200還可以與先進的履帶機技術集成。這種先進的工具具有用於轉移晶片的機械臂,精確度和精確度無與倫比。無論預先分配的配方或生產速度如何,此資產都能提供平穩的操作。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種節能反應堆,可以在不犧牲質量或速度的前提下從預設配方中節約能源。它具有無校準腔室溫度控制和高貴的氣體凈化模型,兩者都保證了優越的結果AMAT Centura 5200還符合環境法規,通過遠程診斷提供易於維護和服務,並且可以定制以滿足客戶要求。這只是對APPLIED MATERIALS Centura 5200所具備的功能的簡要概述:具有卓越速度和性能的先進半導體晶圓制造反應器、多用途負載系統、高精度和廣泛的工藝控制。它是現代半導體制造需求的理想選擇。
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