二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #188648 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種用於半導體芯片生產的高性能、可靠的電子束反應器。這種腔室式反應堆專門設計用於處理快速吞吐量、嚴密的工藝控制參數、最大產量和苛刻的生產周期。AMAT Centura 5200的特點是將一件式端視室放置在真空外殼內，車身和電氣部件，如電源、加熱元件、壓力表和室門放在上面。一件式腔體由不銹鋼制成，專門設計用於保護半導體芯片免受空氣中粒子和反應性物質的汙染。APPLIED MATERIALS CENTURA 5200的腔室充滿了氮氣等惰性氣體，然後加熱到最高400攝氏度的溫度。這個溫度使氣體的壓力增加到1.2 torr左右。氣體隨後被電子束槍在腔內爆炸。腔內爆炸產生的等離子體適合於加工、蝕刻和將薄膜和材料沈積到半導體芯片上。鍋爐是由兩個獨立元件組成的組件，一個機動化的外缸和一個介電歧管，有助於控制腔內的射頻場分布，確保最佳均勻性。內缸由確保低電損耗的陶瓷支架固定到位，有助於等離子體均勻性和保持一致的晶圓均勻性。腔室背面的電子束槍用來點燃工藝氣體，然後將射頻能量施加到晶圓上。為了控制工藝參數,Centura 5200提供了一系列不同的電源選項,可實現高精度和高精度。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200反應堆能夠提供超過1000攝氏度的峰值溫度,並具有清晰的溫度輪廓,以確保該過程以正確的速度進行。AMAT Centura 5200的工藝均勻性和晶圓均勻性位居業界前列。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種先進、高性能和可靠的電子束反應器,能夠提供高度可重現和可靠的半導體制造,並提高產量和縮短生產時間。它旨在滿足最苛刻的半導體生產要求，並提供更高水平的工藝精度和工藝控制。