二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #189437 待售

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ID: 189437
晶圓大小: 6"
優質的: 2001
CVD system, 6" Specifications: (2) chambers 8-slot cool down Wide body load locks BPSG PSG Undoped TEOS 2001 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是一種先進的半導體生產反應堆,設計用於大容量生產線。該反應堆建在流行的Centura平臺上,用於晶片制造,將薄膜和氧化物沈積在矽片上。AMAT Centura 5200高度可定制,可配置用於不同類型的過程,如化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)和原子層沈積(ALD)。它被設計為在多種基板上生產出超薄膜結構,包括3 D記憶體結構、傳感器、光子學和微電子學。APPLIED MATERIALS Centura 5200的核心由先進的工藝室和高效的成像設備組成。該工藝室配有渦輪分子泵、比例閥、直接進氣混合、光譜儀等工具。這些功能使系統能夠實時準確監控沈積過程,並確保生成的層具有所需的厚度和均勻性。Centura 5200的成像單元是其最具決定性的功能之一。它采用高分辨率相機供電,能夠對沈積在腔內的層進行完整的圖像分析。機器跟蹤沈積參數對最終結構的影響,允許操作員實時進行調整,以確保獲得最佳效果。在性能方面,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200提供了與同級其它反應堆相比的幾個優勢。它具有更低的功耗和更高的吞吐量,使其能夠在更短的時間內處理更大的產品批次。該工具也非常可靠,能夠長時間執行操作而不會造成任何停機或維護。此外,資產可以與其他工具和系統結合起來,進一步提高生產線的整體性能。總體而言,AMAT Centura 5200是一種用途極為廣泛的反應堆,旨在滿足大容量半導體生產線的需求。其精密成像模型、可定制的工藝室和廣泛的功能使其成為一種可靠、高效的解決方案,可用於在各種基板上沈積薄膜。
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