二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #200144 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種多室反應堆設備，為先進的半導體器件制造提供集成的蝕刻和沈積能力。它結合了流程靈活性、自動化性能和高吞吐量,非常適合大批量生產應用程序。該系統能夠提供各種蝕刻和沈積過程，包括化學氣相沈積（CVD）、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、原子層沈積（ALD）等等。它還可以在垂直和水平方向上運行,從而在過程集成領域具有更大的靈活性。該單元由三室構型組成，上室裝有源和源支架，中室裝有主加工室，底部裝有排氣機。該加工室是工具的心臟，並包含在一個真空密封的圍欄中，其中包括氙、鈦和不銹鋼。該腔室設計為操作在5到10 mTorr之間，允許廣泛的處理參數。該腔室設有一個可調石英敏感器，旨在提供均勻的沈積，並包括一個增強套件，以提供改進的反應性離子蝕刻（RIE）性能。AMAT Centura 5200最令人印象深刻的功能之一就是其先進的自動化功能。該資產能夠精確準確地控制流程和配方,確保實現所需的性能。自動化模型還允許遠程維護支持、增強過程控制和消除清潔室內人員的需求。此外,設備的模塊化設計使其能夠輕松適應新的流程要求,並且關鍵組件有多種配置,從而使系統更加高效和通用。總體而言,APPLIED MATERIALS/APPLICED MATERIALS Centura 5200對於大批量生產應用來說是一個令人印象深刻且可靠的單元它提供自動化性能、精度和高吞吐量,並提供各種蝕刻和沈積過程。它還用途廣泛、節能，並包含先進的自動化能力，使其成為各類先進半導體器件制造的熱門選擇。