二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293607517 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是專門為銅應用設計的先進半導體器件制造設備。它是一個幹蝕刻反應堆系統，由一個綜合反應堆子系統（IRS）和一個多反應堆子系統（MRS）組成。國稅局由上反應堆和下反應堆兩個反應堆組成，可配置為處理多達四百種不同的產品。MRS由另外四個獨立反應堆組成，兩個反應堆采用單一配置，允許高容量和低容量生產晶片。上反應堆是一種金屬和氧化矽蝕刻反應堆，設計用於精確去除金屬、氧化物、氮化物等薄膜，而不會損壞下面的底物。它是一種利用室內高速率脈沖的流動蝕刻裝置，保證了膜的均勻蝕刻和高度控制。Lower Reactor能夠同時進行標準蝕刻和高密度等離子體蝕刻工藝，提供高縱橫比特性，具有高工藝重復性和產率。該機器提供直觀的自動化軟件模塊,內建配方,並通過實時產品反饋進行流程優化。此外,該工具還具有高級診斷、流程例程和維護計劃,可以快速識別和糾正錯誤。該資產具有很高的可靠性、高效率和經濟效益，是半導體器件制造的重要資產。AMAT Centura 5200是半導體器件制造市場銅應用的優越幹蝕刻反應器型號。它的多個反應堆為用戶提供了多用途的蝕刻能力和過程重復性。此外,其先進的診斷、流程例程和維護計劃使其成為高效的設備,為客戶提供了巨大的價值。
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