二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293614968 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種反應器,主要用於生產集成電路,用於薄膜介電沈積的高級工藝應用。它是200毫米晶圓範圍內的蝕刻工具，提供先進的性能，具有高度的過程控制和可靠性。它是一種基板取向的蝕刻系統，是通過在薄膜材料（通常是二氧化矽）的表面上引入電場而產生的。AMAT Centura 5200用途廣泛,能夠支持多種工藝,包括高選擇性、接觸和非接觸蝕刻、層沈積和鈍化氧化。它還提供高吞吐量應用程序,能夠同時執行多達七個過程操作。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5200具有先進的功能,使其能夠精確控制其工藝參數,包括能夠精確控制蝕刻的均勻性,以及控制晶圓溫度和壓力。Centura 5200通過更快、可重復的蝕刻周期,使用戶能夠實現更高的流程穩定性。它能夠為要求苛刻的工藝要求提供高蝕刻產量，如均勻性和深度控制以及對工藝參數進行高級微調。它還配備了無弧洪水、自動化過程監控和實時蝕刻速率等先進的安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200還具有獨特的配置,以滿足薄膜沈積和蝕刻的高通量要求。其先進的冷卻系統允許較高的沈積速率和冷卻時間，可配置用於單個晶片或多晶片應用。AMAT Centura 5200先進的溫度控制功能提供了比傳統系統更統一、更可重復的結果。APPLIED MATERIALS Centura 5200是一個堅固、精心設計的系統,即使在最具挑戰性的條件下也能確保可靠的結果。它易於維護，具有廣泛的兼容材料，可用於多種工業應用。Centura 5200是尋求可靠和先進的蝕刻和薄膜沈積工藝的用戶的絕佳選擇。