二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293685998 待售
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ID: 293685998
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
System, 6"
(3) Chambers
Oxide chamber for EMXP+, 6"
HP Robot
Gas panel: VME1/VME2
MFC/Gas filter missing
Gas box
Load lock
Simple cathode and ESC
Wall and cathode liner
SEIKO SEIKI 301
HV Module
RF Match box
ENI OEM 12B-03
Gas panel valve
VME1 Gas control
EOP Controller (3-channels)
Removed parts:
Generator
Pump
1994 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是一個高性能反應室，專門為在半導體制造行業提供精確的工藝成果而設計。它采用一種新穎的自動頂載方法，能夠實現超高質量的蝕刻和沈積過程。該設備在成本、速度和精度方面具有多種優勢,非常適合各種關鍵制造過程中的客戶。AMAT Centura 5200的核心是一個獨一無二的雙泵浦真空系統，帶有車載氣體管理器。這種先進的裝置提供近乎完美的壓力控制，使其能夠提供高度一致的蝕刻和沈積性能，同時減少基板損壞或材料燒蝕。此外，它的真空水平可以調節到99.7%或更高，不需要昂貴的真空烘烤，並顯著改善設備的翻轉。APPLIED MATERIALS Centura 5200的反應室配有定制設計的基板插座，在加工過程中輕輕固定晶片。這樣可以確保晶片保持完全水平,並以預定義的速度旋轉,以確保一致的蝕刻和沈積效果。此外，該機器采用堅固的內線過濾器，有助於保護腔室免受灰塵、碎屑和汙染物的侵害。對Centura 5200工藝參數的徹底控制允許最大限度地控制低輪廓（邊界）蝕刻和沈積過程以及暴露於高溫下。這樣可以獲得極具吸引力的結果和最高的質量。除了硬件功能外，該工具還配備了先進的控制和自動化工具，以確保可重復、經濟高效的結果。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200配備了超高質量的蝕刻和沈積過程,確保每次都能完美執行。其先進的真空資產和定制基板插座可創建統一的設備結構,而其自動化的頂部負載方法、復雜的控制和自動化功能可確保精確調整所有工藝參數以提供最高質量的結果。總而言之,AMAT Centura 5200提供精確度和性能的完美結合,使其成為高級半導體生產工藝的理想選擇。
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