二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293767095 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是半導體工業中用於生產多晶矽膜的雙室動態化學氣相沈積（CVD）反應器。該設備旨在降低工藝成本，同時提高沈積產品的質量。AMAT Centura 5200通過矽烷的分缸旋轉氧化操作，形成多晶矽薄膜。在雙室模型中，第一室產生氫氧化物，然後輸送到第二室進行進一步處理。該系統包括水平和垂直RF/DC/RF電源，以進一步優化沈積過程。APPLIED MATERIALS Centura 5200配備了多種過程控制方法,以確保正常運行。可以用特定的流量、壓力和混合物對多個工藝氣體閥進行編程，以確保最佳工藝條件。可編程的直流控制單元可以優化沈積過程。該機器還包括微控制和環境傳感器，用於精確的過程控制和監測。Centura 5200配備了高效的排氣工具，可以快速疏散含矽烷的氣體。這是一個重要的特點，因為它允許在不同的工藝氣體之間快速轉換，從而導致較短的整體沈積周期。在安全方面，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200具有密封隔離資產，以保護操作員不受危險沈積氣體的影響。該車型的排氣孔還裝有雙過濾墨盒，以盡量減少任何沈積氣體向周圍大氣的逸出。最後，AMAT Centura 5200為生產高品質、X射線級的薄膜半導體器件提供了經濟實惠的平臺。該設備在高達1500°C的溫度下具有極好的穩定性和可靠性,因此適用於許多難以蝕刻的矽設備,如GaN/AlN和SOI。先進的自動化系統進一步提高了設備的效率，有助於最大限度地減少產品質量的變化。
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