二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293818639 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是業界領先的半導體生產反應堆，用於晶圓變薄、蝕刻和其他關鍵工藝制造集成電路（IC）。該反應堆是為可靠性和高通量而設計的。它有一個垂直的爐子布局，可以方便地進入晶圓裝卸碼頭。反應器室由Hastelloy C-22制成，Hastelloy是一種以耐腐蝕性著稱的鎳基超級合金，提供卓越的可靠性和較長的工作壽命。垂直爐的布置也保證了最優均勻性，減少了噴嘴堵塞，提供了可重復的工藝結果。自動化氣體控制設備進一步加強了這一點，該設備保持了一致的工藝條件。閉環過程控制系統為晶圓稀釋過程提供了精確的實時監控和微調。AMAT Centura 5200還提供自動晶片處理，帶有自動槍支移動和真空系統，用於裝卸。這與清潔區域轉移和自動測量相結合,大大提高了生產率。該單元還配備了一系列選項，以滿足各種工藝要求。這些選項包括原位光學發射光譜、一個集成的氦氣泄漏檢測機、一個自動清潔工具和一個自動薄膜沈積資產。APPLIED MATERIALS Centura 5200是半導體行業保持產品質量、提供可重復結果和提高生產率的重要工具。其性能和可靠性使其成為晶圓稀釋和蝕刻工藝的首選生產反應器。