二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9004510 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是一種反應堆，用於半導體工業的多種應用。它是專門為了生產矽、砷化氙、多晶矽等材料的高產、無缺陷的底物而設計的。AMAT Centura 5200的主要部件是熔爐、主室、加工室。爐子是設備的主要動力中心，用於控制系統溫度以及為需要高溫或真空的過程提供必要的動力。主室是放置基板處理的單元的主要區域。它還包含機器操作所需的一些儀表和控件。加工室位於主室內，包含實際加工基板所需的所有設備。APPLIED MATERIALS Centura 5200可以執行多種過程，從摻雜植入物到外延生長、光敏剝離、蝕刻。它還支持原子層沈積（ALD）和化學機械平面化（CMP）等先進工藝流程。該工具有一個廣泛的配方庫，配方可以針對特定的應用進行定制。Centura 5200是具有先進控制和技術的完全集成資產。它具有用戶友好的人機界面（HMI），可以方便地訪問模型設置和配方。該設備還具有低熱梯度控制和改進的溫度穩定性，允許更大的重復性和準確性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是半導體行業許多應用的絕佳選擇，提供高產、無缺陷的基材和先進的工藝流程。它是一個可靠、用途廣泛的反應堆系統，並得到AMAT致力於質量和創新的支持。
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