二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9046127 待售

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ID: 9046127
晶圓大小: 8"
RTP System, 8" Divisional mainframe (2) Load -locks (2) Process chambers (1) Cool-down chamber Data logging capability Wafer rotation: 90 rpm during anneal Chamber heating: 187 tungsten-halogen bulbs in hexagonal pattern Bulbs: 12 concentric zones (grouped) Temperature controllers in software.
AMAT(APPLIED MATERIALS)AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種高性能的過程增強反應堆,為滿足半導體制造的嚴格標準而設計。它提供了許多旨在提高生產效率、最大限度地降低成本和優化產品可靠性的功能。AMAT Centura 5200能夠在受控環境中快速處理各種材料,包括準金屬和III-V化合物。它具有一個非磁性不銹鋼腔室和一對堅固的石英波紋管和晶圓載體,以提高吞吐量。該設備包括冷卻氣體分配系統以及自適應冷卻,確保整個腔室的溫度均勻。APPLIED MATERIALS Centura 5200旨在減少周期時間、節約資源和提高產品質量。它具有高速垂直升降機和低高度裝卸設計,大大減少了循環時間。該裝置還擁有先進的熱控制器,具有自適應線性化控制技術,改進的工藝傳感器技術,以及確保準確、一致和可重復性能的真空自清潔機。Centura 5200的開發是為了滿足需要提高生產效率的制造商的需求。它配備了先進的運動控制系統,確保精確的運動,以及高速、高精度的升降機和裝卸機構。該工具還提高了工藝速度和精度,同時提高了晶圓的產量和均勻性。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200是尋求縮短循環時間和提高產品可靠性的半導體制造商的高性能選擇。它設計為能夠處理各種材料,並結合了一系列創新功能,旨在提高生產率、最大限度地降低成本和優化產品質量。
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