二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9096242 待售
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ID: 9096242
優質的: 2008
Oxide etcher, 8"
Wafer type: SNNF
(2) Chambers: MXP
Load locks: wide body
Software Version: E3.7
Short Controller
Auto Rotation
Orienter Lid Hinge: present
Narrow Hoop Orienter: present
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一種功能齊全的反應堆,主要用於制造半導體器件。它是一種全自動、計算機控制的設備,能夠同時運行多個進程。這使它能夠以一致的一致性和可靠性快速準確地制造各種組件。AMAT Centura 5200是一種預蒸發器蝕刻系統,利用高真空等離子體腔室和半導體級材料進行高精度和高速度的清潔和蝕刻。該裝置采用晶圓轉換機,能夠同時容納多個晶圓,從而能夠快速高效地處理大量材料。這種轉移工具還允許有效的位置參考和維護蝕刻參數的均勻性。APPLIED MATERIALS Centura 5200先進的等離子體蝕刻技術提供了可靠準確的蝕刻速率控制,並實現了晶圓表面上一致、均勻的蝕刻。其全面的工藝參數集確保了蝕刻化學的精確控制,提高了蝕刻的速度和精度,最大限度地減少了晶圓表面的非均勻性。資產還提供了蝕刻過程的完整可追蹤性,並記錄了蝕刻過程中使用的每個參數。此外,Centura 5200還能執行層沈積、光致抗蝕劑和氧化物材料沈積、氧化物去除等其他功能。其高度精確的閉環過程控制,加上其自動化的特點,使其適合各種復雜的半導體器件制造過程。該型號還能夠處理不同類型的晶片,包括標準矽片、砷化氙、藍寶石和石英。這使得它成為大批量生產運行的理想工具,需要各種不同的基材。此外,它的通用軟件允許用戶快速更改蝕刻參數和工藝,這對於快速生產非常有用。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200是一款先進、用戶友好且可靠的工具,旨在以卓越的速度和精度生產高質量的半導體器件和組件。
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